Гундин, А. А.; Дудоров, В. Г.; Hundzin, A. A.; Dudorov, V. G.
(Белорусско-Российский университет, 2017)
Решается задача измерения линейных размеров с субпиксельной точностью для элементов полупроводниковых пластин в микроскопии. Рассмотрен метод измерения с помощью анализа профиля сечения изображения, содержащего края объекта ...