Тявловский, А. К.; Жарин, А. Л.; Свистун, А. И.; Самарина, А. В.; Пантелеев, К. В.; Микитевич, В. А.
(Белорусско-Российский университет, 2022)
Рассмотрены вопросы проектирования и особенности конструкции малогабаритного сканирующего электрометрического зонда, предназначенного для неразрушающего контроля дефектов поверхности полупроводниковых и наноструктурированных ...