Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Пантелеев, К. В.; Самарина, А. В.; Свистун, А. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Vorobey, R. I.; Gusev, O. K.; Zharin, A. L.; Pantsialeyeu, K. Y.; Samarina, A. Y.; Svistun, A. I.; Tyavlovsky, A. K.; Tyavlovsky, K. L.
(Белорусско-Российский университет, 2017)
Выполнен сравнительный анализ методов картирования приборных слоев полупроводниковых пластин. Показана перспективность методов на основе регистрации изменений потенциала поверхности зондовым электрометрическим
преобразователем ...