Стаськов, Н. И.; Шульга, А. В.
(Институт физики им. Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси, 2016)
Получено аналитическое решение обратной задачи спектральной эллипсометрии для прозрачного слоя на поглощающей подложке, основанное на методе огибающих, и применено для определения спектральных зависимостей показателей ...