Влияние температуры отжига на оптические характеристики тонких пленок сульфида индия

Abstract

Исследованы оптические свойства пленок сульфида индия (In2S3), отожженных при температурах 350 °C и 450 °C, на подложке из известково-натриевого стекла. Пленки получены методом высокочастотного магнетронного распыления (RFMS). Оптические характеристики и толщины пленок определены методами спектральной эллипсометрии (SE) и спектрофотометрии отражения и пропускания (SRT). Обработка спектров выполнена программным обеспечением DeltaPsi2 для трехслойной пленки с дисперсионной функцией Тауца – Лоренца (TL) и методом наименьших квадратов при задании спектра комплексного показателя преломления однослойной пленки в виде полиномов Лагранжа – Чебышева. Researched the optical properties of indium sulfide (In2S3) films annealed at 350 °C and 450 °C on a soda-lime glass substrate. The films were obtained by high-frequency magnetron sputtering (RFMS). Optical characteristics and film thicknesses were determined by spectral ellipsometry (SE) and reflection and transmission spectrophotometry (SRT). The spectra were processed using the DeltaPsi2 software for a three-layer film with the Tauc – Lorentz (TL) dispersion function and the least squares method when specifying the spectrum of the complex refractive index of a single-layer film in the form of Lagrange – Chebyshev polynomials.