Малогабаритный сканирующий электрометрический зонд для контроля дефектов поверхности полупроводниковых и наноструктурированных материалов

Тявловский, А. К.; Жарин, А. Л.; Свистун, А. И.; Самарина, А. В.; Пантелеев, К. В.; Микитевич, В. А.

Главная
→
Материалы конференций и семинаров
→
Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов
→
2022 (29-30 сентября)
→
Просмотр элемента

dc.contributor.author	Тявловский, А. К.
dc.contributor.author	Жарин, А. Л.
dc.contributor.author	Свистун, А. И.
dc.contributor.author	Самарина, А. В.
dc.contributor.author	Пантелеев, К. В.
dc.contributor.author	Микитевич, В. А.
dc.date.accessioned	2022-09-30T07:04:57Z
dc.date.available	2022-09-30T07:04:57Z
dc.date.issued	2022
dc.identifier.citation	Тявловский, А. К. Малогабаритный сканирующий электрометрический зонд для контроля дефектов поверхности полупроводниковых и наноструктурированных материалов / Тявловский, А. К., Жарин, А. Л., Свистун, А. И., Самарина, А. В., Пантелеев, К. В., Микитевич, В. А. // Современные методы и приборы контроля качества идиагностики состояния объектов: сб. ст. 8-й Междунар. науч.-техн.конф. / М-во образования Респ. Беларусь, М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Белорус.-Рос. ун-т, Ин-т прикладной физикиНАН Беларуси, Белорус. ассоц. неразрушающего контроля и техн.диагностики, Рос. общество по неразрушающему контролю и техн.диагностике; редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. – Могилев:Белорус.-Рос. ун-т, 2022. – С. 280-285	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/22409
dc.description.abstract	Рассмотрены вопросы проектирования и особенности конструкции малогабаритного сканирующего электрометрического зонда, предназначенного для неразрушающего контроля дефектов поверхности полупроводниковых и наноструктурированных материалов. Повышение отношения сигнал/шум при высокоскоростном сканировании обеспечивается использованием в схеме управления приводом вибрации электрометрического зонда интегрального драйвера пьезоэлектрического привода DRV8662 со встроенным повышающим импульсным преобразователем напряжения. Уменьшение габаритов измерительного преобразователя обеспечило повышение пространственного разрешения при выявлении малоразмерных дефектов в соответствии с современными требованиями. Development and design of a small-sized scanning electrometric probe for semiconductor and nanostructured materials surface defect control are discussed. Improvement in signal-to-noise ratio is achieved by designing the vibration control system for electrometric probe on a basis of DRV8662 piezo haptic driver with integrated boost converter. Minimization of measuring transducer dimensions allowed improving the lateral resolution of a probe in accordance with current requirements.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	неразрушающий контроль	ru_RU
dc.subject	дефекты поверхности	ru_RU
dc.subject	электрометрия	ru_RU
dc.subject	сканирование	ru_RU
dc.subject	зонд Кельвина	ru_RU
dc.subject	non-destructive testing	ru_RU
dc.subject	surface defects	ru_RU
dc.subject	electrometry	ru_RU
dc.subject	scanning	ru_RU
dc.subject	Kelvin probe	ru_RU
dc.title	Малогабаритный сканирующий электрометрический зонд для контроля дефектов поверхности полупроводниковых и наноструктурированных материалов	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU
dc.identifier.udc	621.382