dc.contributor.author |
Примак, И. У. |
|
dc.contributor.author |
Хомченко, А. В. |
|
dc.contributor.author |
Primak, I. U. |
|
dc.contributor.author |
Khomchenko, A. V. |
|
dc.date.accessioned |
2017-10-16T12:02:05Z |
|
dc.date.accessioned |
2018-05-24T06:58:06Z |
|
dc.date.available |
2017-10-16T12:02:05Z |
|
dc.date.available |
2018-05-24T06:58:06Z |
|
dc.date.issued |
2017 |
|
dc.identifier.citation |
Примак, И. У. Интегрально-оптический датчик газовых примесей на основе нанослоев оксидных полупроводников / И. У. Примак, А. В. Хомченко // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов : сборник статей 6-й Международной научно-технической конференции, Могилев, 19-20 сентября 2017 г. / редкол.: И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2017. - С. 453-457 |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/5077 |
|
dc.description.abstract |
Представлены результаты исследования изменения волноводных свойств полупроводниковых пленок при адсорбции молекул газа на их поверхности. Для пленок из двуокиси олова промоделировано изменение оптических потерь в условиях адсорбции газа. Выполнен анализ чувствительности интегрально-оптических датчиков на основе пленок ряда оксидных полупроводников. Results of studying changes in waveguide properties of semiconductor films in the case of adsorption of gas molecules on their surface are presented. For films of tin dioxide the optical losses variation in conditions of gas adsorption are simulated. The analysis of the sensitivity of integrated optical sensors is presented. |
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.publisher |
Белорусско-Российский университет |
ru_RU |
dc.subject |
волноводная спектроскопия |
ru_RU |
dc.subject |
датчик газовых примесей |
ru_RU |
dc.subject |
датчики |
ru_RU |
dc.subject |
адсорбция |
ru_RU |
dc.subject |
газовые примеси |
ru_RU |
dc.subject |
интегрально-оптические датчики |
ru_RU |
dc.subject |
полупроводниковые пленки |
ru_RU |
dc.subject |
оксидные полупроводники |
ru_RU |
dc.subject |
waveguide spectroscopy |
ru_RU |
dc.subject |
gas impurities |
ru_RU |
dc.subject |
sensors |
ru_RU |
dc.subject |
adsorption |
ru_RU |
dc.subject |
sensor of gas impurities |
ru_RU |
dc.subject |
integrated optical sensors |
ru_RU |
dc.subject |
semiconductor films |
ru_RU |
dc.subject |
oxide semiconductors |
ru_RU |
dc.subject |
Публикации кафедры "Физика" |
|
dc.title |
Интегрально-оптический датчик газовых примесей на основе нанослоев оксидных полупроводников |
ru_RU |
dc.title.alternative |
The waveguide thin-film gas sensor |
ru_RU |
dc.type |
Thesis |
ru_RU |