Влияние обработки тлеющим разрядом на структуру, фазовый состав и твердость износостойких защитных покрытий на основе титана

Abstract

Представлены результаты исследования структуры, фазового состава и твердости износостойких защитных покрытий типа TiC и TiN, полученных методом магнетронного напыления, как в исходном состоянии, так и подвергнувшихся обработке при различных энергетических характеристиках высоковольтного тлеющего разряда. The paper presents results of the research into the structure, phase composition and hardness of wearresistant protective coatings of the TiC and TiN type, obtained by magnetron sputtering, both in the initial state and subjected to treatment with high-voltage glow discharge having different energy characteristics.