Буранок, А. И.; Крот, Я. С.; Павленко, А. И.; Buranok, A. I.; Krot, Y. S.; Pavlenko, A. I.
(Белорусско-Российский университет, 2017)
Освещена проблематика создания координатных устройств для микро - и нанопозиционирования в сканирующих системах на базе пьезоэлектрических актюаторов, существующие на данный момент конструктивные решения в этой области и ...