Рефлектометрия наноразмерных слоев на кремниевой подложке

dc.contributor.author	Примак, И. У.
dc.contributor.author	Хомченко, А. В.
dc.contributor.author	Казаченко, Н. И.
dc.date.accessioned	2020-01-29T07:48:47Z
dc.date.available	2020-01-29T07:48:47Z
dc.date.issued	2018
dc.identifier.citation	Примак, И. У. Рефлектометрия наноразмерных слоев на кремниевой подложке / И. У. Примак, А. В. Хомченко, Н. И. Казаченко // Проблемы взаимодействия излучения с веществом [Электронный ресурс] : материалы V Международной научной конференции, посвященной академику Б. В. Бокутю, Гомель, 14–16 ноября 2018 г.: в 2 ч. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2018. – Ч. 2. – С. 176-182.	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/11352
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	ГГУ им. Ф. Скорины	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Высшая математика"	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.title	Рефлектометрия наноразмерных слоев на кремниевой подложке	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU

Files in this item

Name: 176-182.pdf

Size: 1.577Mb

Format: PDF

Description: Статья