Трехкомпонентная модель эффективной среды для определения состава слоев на кремниевых пластинах

Abstract

Предлагаемая модель эффективной среды, в которой матричная среда Максвелла—Гарнетта заполнена средой Бруггемана, применена при решении обратных задач многоугловой эллипсометрии для определения состава переходных слоев, окружающих слой термического диоксида кремния на кремниевой подложке. Объемные факторы заполнения слоя корректно отражают возможные структурные превращения при окислении кристаллического кремния. The proposed model of an effective medium, in which the Maxwell–Garnett matrix medium is filled with the Bruggeman medium, is used in solving inverse problems of multi-angle ellipsometry to determine the composition of the transition layers surrounding the layer of thermal silicon dioxide on a silicon substrate. The volume factors of filling the layer correctly reflect possible structural transformations during the oxidation of crystalline silicon.