Электродинамическая модель гетеропланарного слоя диэлектрика на основе оксида и нитрида кремния

dc.contributor.author	Шульга, А. В.
dc.contributor.author	Омельченко, А. А.
dc.contributor.author	Стаськов, Н. И.
dc.date.accessioned	2020-05-18T13:13:29Z
dc.date.available	2020-05-18T13:13:29Z
dc.date.issued	2020
dc.identifier.citation	Шульга А. В. Электродинамическая модель гетеропланарного слоя диэлектрика на основе оксида и нитрида кремния / Шульга А. В., Омельченко А. А., Стаськов Н. И. // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы Международной научно-технической конференции, Могилев, 23-24 апреля 2020г. / редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред) [и др.]. – Могилев: Белорусско-Российский университет, 2020. – С. 309-310	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/12524
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.title	Электродинамическая модель гетеропланарного слоя диэлектрика на основе оксида и нитрида кремния	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU
dc.identifier.udc	535.51