Картирование дефектов прецизионных поверхностей с использованием методов зондовой электрометрии

Abstract

Рассмотрено использование методов зондовой электрометрии (в частности, сканирующего зонда Кельвина) для неразрушающего контроля дефектов обработки поверхности металлооптических изделий высшего класса чистоты. Показано, что применение таких методов обеспечивает выявление и картирование малоразмерных дефектов, не обнаруживаемых другими средствами неразрушающего контроля, в том числе при характерных размерах дефектов много меньше разрешающей способности картирования. В последнем случае определяется факт наличия и – оценочно – концентрация дефектов в некоторой области, соответствующей шагу сканирования. To solve the problem of non-destructive testing of highest cleanliness class surfaces of metallic optical items the probe electrometry methods, in particular scanning Kelvin probe technique, are considered. Such methods provide the detection and mapping of smallsized defects inaccessible to other non-destructive testing techniques, including those with characteristic sizes much less than the mapping resolution. In the latter case the available information include defect presence and estimated defect concentration in some area corresponding to the scan step.