Оптические свойства кремния, модифицированного в плазме тлеющего разряда

Корнеева, И. А.

dc.contributor.author	Корнеева, И. А.
dc.date.accessioned	2020-12-04T10:15:34Z
dc.date.available	2020-12-04T10:15:34Z
dc.date.issued	2013
dc.identifier.citation	Корнеева, И. А. Оптические свойства кремния, модифицированного в плазме тлеющего разряда / Корнеева, И. А. // Новые материалы, оборудование и технологии впромышленности: материалы междунар. науч.-техн.конф. молод. ученых / М-во образования Респ.Беларусь, М-во образования и науки Рос. Федерации,Белорус.-Рос. ун-т; редкол. : И. С. Сазонов (гл. ред.)[и др.]. – Могилев: Белорус.-Рос. ун-т, 2013. – C. 63	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/13718
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.title	Оптические свойства кремния, модифицированного в плазме тлеющего разряда	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU
dc.identifier.udc	535.32
dc.identifier.udc	621.378