Оптимизация работы системы газового питания установки для нанесения тонкопленочных покрытий

dc.contributor.author	Голозубов, А. Л.
dc.contributor.author	Голозубова, А. А.
dc.date.accessioned	2021-04-27T10:11:54Z
dc.date.available	2021-04-27T10:11:54Z
dc.date.issued	2021
dc.identifier.citation	Голозубов, А. Л. Оптимизация работы системы газового питания установки для нанесения тонкопленочных покрытий / Голозубов, А. Л., Голозубова, А. А. // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии:материалы Междунар. науч.-техн. конф. / М-во образования Респ.Беларусь, М-во науки и высшего образования Рос. Федерации,Белорус.-Рос. ун-т ; редкол. : М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. –Могилев: Белорус.-Рос. ун-т, 2021. – С. 121-122	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/15798
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.title	Оптимизация работы системы газового питания установки для нанесения тонкопленочных покрытий	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU
dc.identifier.udc	621.732