Контроль наноразмерных диэлектрических слоев на подложке методом волноводной спектроскопии

Сотский, А. Б.; Чудаковский, П. Я.; Сотская, Л. И.

DSpace Home
→
Материалы конференций и семинаров
→
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии
→
2012 (19-20 апреля)
→
View Item

dc.contributor.author	Сотский, А. Б.
dc.contributor.author	Чудаковский, П. Я.
dc.contributor.author	Сотская, Л. И.
dc.date.accessioned	2016-07-12T11:08:34Z
dc.date.accessioned	2018-06-12T13:09:01Z
dc.date.available	2016-07-12T11:08:34Z
dc.date.available	2018-06-12T13:09:01Z
dc.date.issued	2012
dc.identifier.citation	Сотский, А. Б. Контроль наноразмерных диэлектрических слоев на подложке методом волноводной спектроскопии / А. Б. Сотский, П. Я. Чудаковский, Л. И. Сотская // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 19-20 апреля 2012 г.: в 2 ч. Ч. 2 / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2012.- С. 195-196	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/1771
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	волноводная спектроскопия	ru_RU
dc.subject	оптический контроль	ru_RU
dc.subject	неразрушающий контроль	ru_RU
dc.subject	нанотехнологии	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.subject	Публикации кафедры "Высшая математика"
dc.title	Контроль наноразмерных диэлектрических слоев на подложке методом волноводной спектроскопии	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU