Эллипсометрия металлических пленок в условиях аномального скин-эффекта

Показать сокращенную информацию

dc.contributor.author Сотский, А. Б.
dc.contributor.author Чудаков, Е. А.
dc.contributor.author Сотская, Л. И.
dc.date.accessioned 2022-02-18T07:04:35Z
dc.date.available 2022-02-18T07:04:35Z
dc.date.issued 2021
dc.identifier.citation Сотский, А. Б. Эллипсометрия металлических пленок в условиях аномального скин-эффекта / А. Б. Сотский, Е. А. Чудаков, Л. И. Сотская // Оптика и спектроскопия. - 2021. - Т. 129. - Вып. 7. - С. 889-898. DOI: 10.21883/OS.2021.07.51080.1847-21 ru_RU
dc.identifier.uri http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/18985
dc.description.abstract Сформулированы интегральные уравнения Фредгольма второго рода, описывающие поля волн ТЕ- и ТМ-поляризации в металлических пленках с учетом аномального скин-эффекта. Уравнения допускают численное решение методом квадратур. Исследованы электрические поля в золотых и алюминиевых пленках, расположенных на кремниевой подложке, и угловые зависимости поляризационных углов отраженного от пленок света. Установлено, что для решения обратной задачи многоугловой эллипсометрии металлических пленок с использованием приближения нормального скин-эффекта характерна нестабильность восстановленного комплексного показателя преломления металла при изменении толщины металлической пленки. ru_RU
dc.language.iso ru ru_RU
dc.subject металлическая пленка ru_RU
dc.subject аномальный скин-эффект ru_RU
dc.subject интегральные уравнения ru_RU
dc.subject многоугловая эллипсометрия ru_RU
dc.subject Публикации кафедры "Высшая математика" ru_RU
dc.title Эллипсометрия металлических пленок в условиях аномального скин-эффекта ru_RU
dc.type Article ru_RU


Файлы в этом документе

Icon
Имя: 889-898.pdf
Размер: 996.8Kb
Формат: PDF
Описание: Статья
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать сокращенную информацию