Оценка погрешностей поляризационных углов в спектральном эллипсометре ES-2

Примак, И. У.; Стаськов, Н. И.; Ивашкевич, И. В.

DSpace Home
→
Материалы конференций и семинаров
→
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии
→
2009 (16-17 апреля)
→
View Item

dc.contributor.author	Примак, И. У.
dc.contributor.author	Стаськов, Н. И.
dc.contributor.author	Ивашкевич, И. В.
dc.date.accessioned	2022-05-12T12:47:43Z
dc.date.available	2022-05-12T12:47:43Z
dc.date.issued	2009
dc.identifier.citation	Примак, И. У. Оценка погрешностей поляризационных углов в спектральном эллипсометре ES-2 / Примак, И. У., Стаськов, Н. И., Ивашкевич, И. В. // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы междунар. науч.-техн. конф. : В 3 ч. / М-во образования Респ. Беларусь, М-во образования и науки Рос. Федерации, Федеральное агенство по образованию, Могилев. обл. исполн. ком., Нац. акад. наук Респ. Беларусь, Бел.-Рос. ун-т ; редкол. : И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Бел.-Рос. ун-т, 2009. - Ч. 2. - С. 264	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/20431
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.title	Оценка погрешностей поляризационных углов в спектральном эллипсометре ES-2	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU
dc.identifier.udc	535.51. 541.1