Показать сокращенную информацию
dc.contributor.author | Примак, И. У. | |
dc.contributor.author | Стаськов, Н. И. | |
dc.contributor.author | Ивашкевич, И. В. | |
dc.date.accessioned | 2022-05-12T12:47:43Z | |
dc.date.available | 2022-05-12T12:47:43Z | |
dc.date.issued | 2009 | |
dc.identifier.citation | Примак, И. У. Оценка погрешностей поляризационных углов в спектральном эллипсометре ES-2 / Примак, И. У., Стаськов, Н. И., Ивашкевич, И. В. // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы междунар. науч.-техн. конф. : В 3 ч. / М-во образования Респ. Беларусь, М-во образования и науки Рос. Федерации, Федеральное агенство по образованию, Могилев. обл. исполн. ком., Нац. акад. наук Респ. Беларусь, Бел.-Рос. ун-т ; редкол. : И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Бел.-Рос. ун-т, 2009. - Ч. 2. - С. 264 | ru_RU |
dc.identifier.uri | http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/20431 | |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Белорусско-Российский университет | ru_RU |
dc.title | Оценка погрешностей поляризационных углов в спектральном эллипсометре ES-2 | ru_RU |
dc.type | Thesis | ru_RU |
dc.identifier.udc | 535.51. 541.1 |