Оценки погрешностей рефлектометрии наноразмерных слоев

Парашков, С. О.; Сотский, А. Б.; Сотская, Л. И.

DSpace Home
→
Материалы конференций и семинаров
→
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии
→
2013 (18-19 апреля)
→
View Item

dc.contributor.author	Парашков, С. О.
dc.contributor.author	Сотский, А. Б.
dc.contributor.author	Сотская, Л. И.
dc.date.accessioned	2016-07-28T07:48:27Z
dc.date.accessioned	2018-06-06T11:08:09Z
dc.date.available	2016-07-28T07:48:27Z
dc.date.available	2018-06-06T11:08:09Z
dc.date.issued	2013
dc.identifier.citation	Парашков, С. О. Оценки погрешностей рефлектометрии наноразмерных слоев / С. О. Парашков, А. Б. Сотский, Л. И. Сотская // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 18-19 апреля 2013 г.: в 2 ч. Ч. 2 / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2013. - С. 191-192	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/2145
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	наноразмерные слои	ru_RU
dc.subject	оценка погрешностей	ru_RU
dc.subject	рефлектометрия	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.subject	Публикации кафедры "Высшая математика"
dc.title	Оценки погрешностей рефлектометрии наноразмерных слоев	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU