Структура приповерхностных слоев исходных и гидрогенизированных кремниевых подложек

Стаськов, Н. И.; Сотский, А. Б.; Мазаник, А. В.; Зинчук, О. В.; Сотская, Л. И.; Ивашкевич, И. В.

dc.contributor.author	Стаськов, Н. И.
dc.contributor.author	Сотский, А. Б.
dc.contributor.author	Мазаник, А. В.
dc.contributor.author	Зинчук, О. В.
dc.contributor.author	Сотская, Л. И.
dc.contributor.author	Ивашкевич, И. В.
dc.date.accessioned	2022-08-10T06:12:21Z
dc.date.available	2022-08-10T06:12:21Z
dc.date.issued	2009
dc.identifier.citation	Стаськов, Н. И. Структура приповерхностных слоев исходных и гидрогенизированных кремниевых подложек / Стаськов, Н. И., Сотский, А. Б., Мазаник, А. В., Зинчук, О. В., Сотская, Л. И., Ивашкевич, И. В. // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов матерналы 3-й междунар. науч-техн. конф. / М-во образования Респ. Беларусь, М-во образования и науки Рос. Федерации, Федеральное агентство по образованию, Нац. акад. наук Респ. Беларусь, Ин-т прикладной физ. НАН Респ. Беларусь, Белорусская ассоциация неразруш. контр. и техн. диагн. Рос. общество по неразруш. контр. и техн. диагн., Белорус.- Рос. ун-т ; редкол. : И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев : Белорус.-Рос. ун-т, 2009. — С. 163-165	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/22029
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.title	Структура приповерхностных слоев исходных и гидрогенизированных кремниевых подложек	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU
dc.identifier.udc	535.51