Хомченко, А. В.; Примак, И. У.
(Белорусско-Российский университет, 2022)
Рассмотрены особенности и пределы применимости методов измерения параметров тонкопленочных структур, основанных на регистрации угловой зависимости коэффициента отражения поляризованного светового пучка в схеме призменного ...