dc.contributor.author |
Стаськов, Н. И. |
|
dc.contributor.author |
Парашков, С. О. |
|
dc.contributor.author |
Чудаков, Е. А. |
|
dc.date.accessioned |
2022-09-30T06:57:11Z |
|
dc.date.available |
2022-09-30T06:57:11Z |
|
dc.date.issued |
2022 |
|
dc.identifier.citation |
Стаськов, Н. И. Влияние температуры отжига на оптические характеристики тонких пленок сульфида индия / Стаськов, Н. И., Парашков, С. О., Чудаков, Е. А. // Современные методы и приборы контроля качества идиагностики состояния объектов: сб. ст. 8-й Междунар. науч.-техн. конф. / М-во образования Респ. Беларусь, М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Белорус.-Рос. ун-т, Ин-т прикладной физики НАН Беларуси, Белорус. ассоц. неразрушающего контроля и техн. диагностики, Рос. общество по неразрушающему контролю и техн. диагностике; редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. – Могилев: Белорус.-Рос. ун-т, 2022. – С. 262-267. |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/22406 |
|
dc.description.abstract |
Исследованы оптические свойства пленок сульфида индия (In2S3),
отожженных при температурах 350 °C и 450 °C, на подложке из известково-натриевого стекла. Пленки получены методом высокочастотного магнетронного распыления (RFMS). Оптические характеристики и толщины пленок определены методами спектральной эллипсометрии (SE) и спектрофотометрии отражения и пропускания (SRT). Обработка спектров выполнена программным обеспечением DeltaPsi2 для трехслойной пленки с дисперсионной функцией Тауца – Лоренца (TL) и методом наименьших квадратов при задании спектра комплексного показателя преломления однослойной пленки в виде полиномов Лагранжа – Чебышева. Researched the optical properties of indium sulfide (In2S3) films annealed at 350 °C and 450 °C on a soda-lime glass substrate. The films were obtained by high-frequency magnetron sputtering (RFMS). Optical characteristics and film thicknesses were determined by spectral ellipsometry (SE) and reflection and transmission spectrophotometry (SRT). The spectra were processed using the DeltaPsi2 software for a three-layer film with the Tauc – Lorentz (TL) dispersion function and the least squares method when specifying the spectrum of the complex refractive index of a single-layer film in the form of Lagrange – Chebyshev polynomials. |
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.publisher |
Белорусско-Российский университет |
ru_RU |
dc.subject |
оптические характеристики сульфида индия |
ru_RU |
dc.subject |
спектральная эллипсометрия |
ru_RU |
dc.subject |
спектрофотометрия |
ru_RU |
dc.subject |
тонкие пленки |
ru_RU |
dc.subject |
температура отжига |
ru_RU |
dc.subject |
трехслойная электродинамическая модель |
ru_RU |
dc.subject |
optical characteristics of indium sulfide |
ru_RU |
dc.subject |
spectral ellipsometry |
ru_RU |
dc.subject |
spectrophotometry |
ru_RU |
dc.subject |
thin films |
ru_RU |
dc.subject |
annealing temperature |
ru_RU |
dc.subject |
three-layer electrodynamic model |
ru_RU |
dc.subject |
Публикации кафедры "Физика" |
|
dc.title |
Влияние температуры отжига на оптические характеристики тонких пленок сульфида индия |
ru_RU |
dc.type |
Article |
ru_RU |
dc.identifier.udc |
535.016 |
|
dc.identifier.udc |
543.4 |
|