dc.contributor.author | Тявловский, А. К. | |
dc.contributor.author | Жарин, А. Л. | |
dc.contributor.author | Свистун, А. И. | |
dc.contributor.author | Самарина, А. В. | |
dc.contributor.author | Пантелеев, К. В. | |
dc.contributor.author | Микитевич, В. А. | |
dc.date.accessioned | 2022-09-30T07:04:57Z | |
dc.date.available | 2022-09-30T07:04:57Z | |
dc.date.issued | 2022 | |
dc.identifier.citation | Тявловский, А. К. Малогабаритный сканирующий электрометрический зонд для контроля дефектов поверхности полупроводниковых и наноструктурированных материалов / Тявловский, А. К., Жарин, А. Л., Свистун, А. И., Самарина, А. В., Пантелеев, К. В., Микитевич, В. А. // Современные методы и приборы контроля качества идиагностики состояния объектов: сб. ст. 8-й Междунар. науч.-техн.конф. / М-во образования Респ. Беларусь, М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Белорус.-Рос. ун-т, Ин-т прикладной физикиНАН Беларуси, Белорус. ассоц. неразрушающего контроля и техн.диагностики, Рос. общество по неразрушающему контролю и техн.диагностике; редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. – Могилев:Белорус.-Рос. ун-т, 2022. – С. 280-285 | ru_RU |
dc.identifier.uri | http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/22409 | |
dc.description.abstract | Рассмотрены вопросы проектирования и особенности конструкции малогабаритного сканирующего электрометрического зонда, предназначенного для неразрушающего контроля дефектов поверхности полупроводниковых и наноструктурированных материалов. Повышение отношения сигнал/шум при высокоскоростном сканировании обеспечивается использованием в схеме управления приводом вибрации электрометрического зонда интегрального драйвера пьезоэлектрического привода DRV8662 со встроенным повышающим импульсным преобразователем напряжения. Уменьшение габаритов измерительного преобразователя обеспечило повышение пространственного разрешения при выявлении малоразмерных дефектов в соответствии с современными требованиями. Development and design of a small-sized scanning electrometric probe for semiconductor and nanostructured materials surface defect control are discussed. Improvement in signal-to-noise ratio is achieved by designing the vibration control system for electrometric probe on a basis of DRV8662 piezo haptic driver with integrated boost converter. Minimization of measuring transducer dimensions allowed improving the lateral resolution of a probe in accordance with current requirements. | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Белорусско-Российский университет | ru_RU |
dc.subject | неразрушающий контроль | ru_RU |
dc.subject | дефекты поверхности | ru_RU |
dc.subject | электрометрия | ru_RU |
dc.subject | сканирование | ru_RU |
dc.subject | зонд Кельвина | ru_RU |
dc.subject | non-destructive testing | ru_RU |
dc.subject | surface defects | ru_RU |
dc.subject | electrometry | ru_RU |
dc.subject | scanning | ru_RU |
dc.subject | Kelvin probe | ru_RU |
dc.title | Малогабаритный сканирующий электрометрический зонд для контроля дефектов поверхности полупроводниковых и наноструктурированных материалов | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |
dc.identifier.udc | 621.382 |