Рефлектометрические методы диагностики тонкопленочных структур

Хомченко, А. В.; Примак, И. У.

dc.contributor.author	Хомченко, А. В.
dc.contributor.author	Примак, И. У.
dc.date.accessioned	2022-09-30T07:06:43Z
dc.date.available	2022-09-30T07:06:43Z
dc.date.issued	2022
dc.identifier.citation	Хомченко, А. В. Рефлектометрические методы диагностики тонкопленочных структур / Хомченко, А. В., Примак, И. У. // Современные методы и приборы контроля качества идиагностики состояния объектов: сб. ст. 8-й Междунар. науч.-техн.конф. / М-во образования Респ. Беларусь, М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Белорус.-Рос. ун-т, Ин-т прикладной физики НАН Беларуси, Белорус. ассоц. неразрушающего контроля и техн. диагностики, Рос. общество по неразрушающему контролю и техн. диагностике; редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. – Могилев: Белорус.-Рос. ун-т, 2022. – С. 286-289.	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/22410
dc.description.abstract	Рассмотрены особенности и пределы применимости методов измерения параметров тонкопленочных структур, основанных на регистрации угловой зависимости коэффициента отражения поляризованного светового пучка в схеме призменного возбуждения волноводных, вытекающих мод или его отражения от поверхности исследуемой структуры. The waveguide and reflectometry techniques for measuring of the absorption coefficient, refractive index and thickness of dielectric and metal thin-film structures are discussed.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	волноводная спектроскопия	ru_RU
dc.subject	рефлектометрия	ru_RU
dc.subject	контроль параметров тонкопленочной структуры	ru_RU
dc.subject	waveguide spectrjscopy	ru_RU
dc.subject	reflectometry	ru_RU
dc.subject	parameter testing of thin-film structure	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Высшая математика"
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.title	Рефлектометрические методы диагностики тонкопленочных структур	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU
dc.identifier.udc	535.32
dc.identifier.udc	621.378