Эллипсометрия кремниевой подложки с естественным поверхностным слоем

Abstract

Определены оптические характеристики естественного поверхностного слоя на кремниевой подложке методами многоугловой и спектральной эллипсометрии. Для интерпретации экспериментальных данных использовались три модели функции показателя преломления N(y): однородная подложка; однородный слой на однородной подложке; N(y) в виде комбинации функций Ферми. Решение обратной задачи эллипсометрии градиентным методом показало, что исследуемому образцу соответствует третья модель. На основании полученных данных исследуется структура поверхностного слоя на подложке Si. Установлено, что данный слой является неоднородным, определена его толщина и произведена оценка состава слоя.