Стаськов, Н. И.; Сотский, А. Б.; Состская, Л. И.; Ивашкевич, И. В.
(2007)
Определены оптические характеристики естественного поверхностного слоя на кремниевой подложке методами многоугловой и спектральной эллипсометрии. Для интерпретации экспериментальных данных использовались три модели функции ...