Оценка погрешности измерения двулучепреломления методом оптической поляриметрии

Abstract

Выполнена оценка влияния погрешности измерения угла ориентации образца относительно плос- кости пропускания поляризатора, интенсивности поляризованного света и разности фаз между волнами различной поляризации на точность измерения параметров анализируемой структуры методом оптиче- ской поляриметрии. Представлены результаты анализа влияния погрешности установки поляризатора относительно плоскости, в которой ориентированы главные направления анизотропии образца, на изме- ряемую величину разности фаз в образцах с линейным двулучепреломлением. The assessment has been carried out how a measurement error of the sample orientation angle relative to the transmission plane of the polarizer, the intensity of polarized light and the phase differences between waves of different polarization can influence the accuracy of measuring the parameters of the structure analyzed by use of the optical polarimetry technique. The paper analyzes the effect of inaccuracy in the installation of the polarizer relative to the plane, in which the main directions of the sample anisotropy are oriented, on the value of phase difference in the samples with linear birefringence.