dc.contributor.author | Ивашкевич, И. В. | |
dc.contributor.author | Стаськов, Н. И. | |
dc.contributor.author | Филиппов, В. В. | |
dc.date.accessioned | 2016-04-18T11:51:52Z | |
dc.date.accessioned | 2018-06-09T12:36:13Z | |
dc.date.available | 2016-04-18T11:51:52Z | |
dc.date.available | 2018-06-09T12:36:13Z | |
dc.date.issued | 2015 | |
dc.identifier.citation | Ивашкевич И. В. Структура пленок TiOx на кремниевых подложках / И. В. Ивашкевич, Н. И. Стаськов, В. В. Филиппов // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 16-17 апреля 2015 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2015.- С. 290-291 | ru_RU |
dc.identifier.uri | http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/299 | |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Белорусско-Российский университет | ru_RU |
dc.subject | тонкопленочные покрытия | ru_RU |
dc.subject | пленки на кремниевых подложках | ru_RU |
dc.subject | плёнки TiOx | ru_RU |
dc.title | Структура пленок TiOx на кремниевых подложках | ru_RU |
dc.type | Thesis | ru_RU |