Структура пленок TiOx на кремниевых подложках

Show simple item record

dc.contributor.author Ивашкевич, И. В.
dc.contributor.author Стаськов, Н. И.
dc.contributor.author Филиппов, В. В.
dc.date.accessioned 2016-04-18T11:51:52Z
dc.date.accessioned 2018-06-09T12:36:13Z
dc.date.available 2016-04-18T11:51:52Z
dc.date.available 2018-06-09T12:36:13Z
dc.date.issued 2015
dc.identifier.citation Ивашкевич И. В. Структура пленок TiOx на кремниевых подложках / И. В. Ивашкевич, Н. И. Стаськов, В. В. Филиппов // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 16-17 апреля 2015 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2015.- С. 290-291 ru_RU
dc.identifier.uri http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/299
dc.language.iso ru ru_RU
dc.publisher Белорусско-Российский университет ru_RU
dc.subject тонкопленочные покрытия ru_RU
dc.subject пленки на кремниевых подложках ru_RU
dc.subject плёнки TiOx ru_RU
dc.title Структура пленок TiOx на кремниевых подложках ru_RU
dc.type Thesis ru_RU


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Browse

My Account