dc.contributor.author | Каменская, Н. Е. | |
dc.contributor.author | Стаськов, Н. И. | |
dc.contributor.author | Ивашкевич, И. В. | |
dc.date.accessioned | 2016-04-18T12:21:14Z | |
dc.date.accessioned | 2018-06-09T12:35:02Z | |
dc.date.available | 2016-04-18T12:21:14Z | |
dc.date.available | 2018-06-09T12:35:02Z | |
dc.date.issued | 2015 | |
dc.identifier.citation | Каменская Н. Е. Переходные слои в кремниевой структуре Si3N4 - SiO2 - cSi / Н. Е. Каменская, Н. И. Стаськов, И. В. Ивашкевич // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 16-17 апреля 2015 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2015.- С. 292-293 | ru_RU |
dc.identifier.uri | http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/302 | |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Белорусско-Российский университет | ru_RU |
dc.subject | кремниевая электроника | ru_RU |
dc.subject | кремниевая структура | ru_RU |
dc.subject | электродинамика | ru_RU |
dc.title | Переходные слои в кремниевой структуре Si3N4 - SiO2 - cSi | ru_RU |
dc.type | Thesis | ru_RU |