Переходные слои в кремниевой структуре Si3N4 - SiO2 - cSi

dc.contributor.author	Каменская, Н. Е.
dc.contributor.author	Стаськов, Н. И.
dc.contributor.author	Ивашкевич, И. В.
dc.date.accessioned	2016-04-18T12:21:14Z
dc.date.accessioned	2018-06-09T12:35:02Z
dc.date.available	2016-04-18T12:21:14Z
dc.date.available	2018-06-09T12:35:02Z
dc.date.issued	2015
dc.identifier.citation	Каменская Н. Е. Переходные слои в кремниевой структуре Si3N4 - SiO2 - cSi / Н. Е. Каменская, Н. И. Стаськов, И. В. Ивашкевич // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 16-17 апреля 2015 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2015.- С. 292-293	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/302
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	кремниевая электроника	ru_RU
dc.subject	кремниевая структура	ru_RU
dc.subject	электродинамика	ru_RU
dc.title	Переходные слои в кремниевой структуре Si3N4 - SiO2 - cSi	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU