Спектральная рефлектометрия многослойных периодических структур на подложке

Примак, И. У.; Хомченко, А. В.; Сакович, М. Д.; Журова, А. А.

DSpace Home
→
Материалы конференций и семинаров
→
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии
→
2023 (20-21 апреля)
→
View Item

dc.contributor.author	Примак, И. У.	ru
dc.contributor.author	Хомченко, А. В.	ru
dc.contributor.author	Сакович, М. Д.	ru
dc.contributor.author	Журова, А. А.	ru
dc.coverage.spatial	Могилев	ru
dc.date.accessioned	2023-04-28T08:08:19Z
dc.date.available	2023-04-28T08:08:19Z
dc.date.issued	2023
dc.identifier.citation	Примак, И. У. Спектральная рефлектометрия многослойных периодических структур на подложке / Примак И. У., Хомченко А. В., Сакович М. Д., Журова А. А. // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы Междунар. науч.-техн. конф. / М-во образования Респ. Беларусь, М-во науки и высшего образования Рос. Федерации, Белорус.-Рос. ун-т ; редкол. : М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. –Могилев: Белорус.-Рос. ун-т, 2023. – С. 441.	ru
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/33462
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru
dc.subject	Публикации кафедры "Высшая математика"
dc.subject	Публикации кафедры "Физические методы контроля"
dc.title	Спектральная рефлектометрия многослойных периодических структур на подложке	ru
dc.type	Thesis	ru