dc.contributor.author |
Сотский, А. Б. |
|
dc.contributor.author |
Steingart, L. M. |
|
dc.contributor.author |
Jackson, J. H. |
|
dc.contributor.author |
Парашков, С. О. |
|
dc.contributor.author |
Дзен, И. С. |
|
dc.contributor.author |
Сотская, Л. И. |
|
dc.date.accessioned |
2023-07-06T12:05:55Z |
|
dc.date.available |
2023-07-06T12:05:55Z |
|
dc.date.issued |
2015 |
|
dc.identifier.citation |
Волноводная спектроскопия двухслойных структур / А. Б. Сотский [и др.] // Журнал технической физики. - 2015. - Т. 85. - № 8. - С. 116-123. |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/34922 |
|
dc.description.abstract |
Предложен метод наименьших квадратов для восстановления оптических параметров двухслойных структур, в котором целевая функция строится с использованием экспериментальных и расчетных данных для отражательной способности призмы связи. Выполнены исследования структуры, состоящей из двух различных пленок оксинитрида кремния, нанесенных на кремниевую подложку. Оценено влияние рассеяния света на решение обратной задачи. |
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.subject |
Публикации кафедры "Высшая математика" |
ru_RU |
dc.title |
Волноводная спектроскопия двухслойных структур |
ru_RU |
dc.type |
Article |
ru_RU |