Спектроскопия слоев на плоскопараллельных подложках

Abstract

Получены интегральные выражения для спектров отражательной и пропускательной способностей структуры в виде двух тонких слоев, нанесенных на противоположные грани плоскопараллельной подложки в условиях наклонного освещения структуры частично когерентным светом. В результате асимптотического анализа интегралов установлены приближенные аналитические формулы для расчета названных спектров, удобные для использования при решении обратных задач спектрофотометрии. Исследован допированный алюминием слой оксида цинка, нанесенный на стеклянную подложку. Спектры показателей преломления и поглощения слоя и подложки, а также толщина слоя восстановлены путем обработки спектров отражательной и пропускательной способностей структуры, измеренных для волн s- и p-поляризации при двух углах падения света на структуру. Найденные параметры структуры использованы в вычислительных экспериментах для оценок границ применимости сформулированных приближений.