Оптические характеристики пленок оксида цинка на стеклянных подложках

Abstract

Разработан алгоритм решения обратной задачи многоугловой спектрофотометрии слоя на плоскопараллельной подложке конечной толщины с использованием волн s- и p-поляризации, позволяющий исследовать дисперсионные свойства слоя и подложки как вдали, так и в окрестности резонансных длин волн. На его основе исследованы дисперсионные свойства слоев чистого и допированного алюминием оксида цинка на стеклянной подложке. Установлено, что допирование приводит к смещению максимума полосы поглощения в коротковолновую область и уменьшению показателя преломления материала. Оценены границы применимости известных приближенных формул для определения спектральной зависимости показателя поглощения слоя по спектрофотометрическим данным. The algorithm is developed for solving the inverse problem of multiangular spectrophotometry of a layer on a plane-parallel substrate of finite thickness using s and p waves. The algorithm allows investigating dispersion properties of the layer and substrate both in the vicinity and far from the resonant wavelengths. The dispersion properties of the layers of pure and aluminum-doped zinc oxide on a glass substrate are investigated. It is shown that the doping leads to a shift in the maximum of the absorption band to the short-wavelength region and to a decrease in the refractive index of the material. The applicability of known approximate expressions for determining the spectrum of the absorption index of a layer from spectrophotometric data is estimated.