Контроль параметров наноразмерных металлических покрытий на кремнии

Хомченко, А. В.; Сотский, А. Б.; Корнеева, И. А.; Парашков, С. О.; Сотская, Л. И.; Шульга, А. В.

dc.contributor.author	Хомченко, А. В.	ru
dc.contributor.author	Сотский, А. Б.	ru
dc.contributor.author	Корнеева, И. А.	ru
dc.contributor.author	Парашков, С. О.	ru
dc.contributor.author	Сотская, Л. И.	ru
dc.contributor.author	Шульга, А. В.	ru
dc.coverage.spatial	Могилев	ru
dc.date.accessioned	2023-07-18T12:55:10Z
dc.date.available	2023-07-18T12:55:10Z
dc.date.issued	2012
dc.identifier.citation	Хомченко, А. В. Контроль параметров наноразмерных металлических покрытий на кремнии / А. В. Хомченко, А. Б. Сотский, И. А. Корнеева, С. О. Парашков, Л. И. Сотская, А. В. Шульга // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов : материалы 4-й междунар. науч.-техн. конф. / М-во образования Респ. Беларусь, М-во образования и науки Рос. Федерации, Нац. акад. наук Респ. Беларусь, Ин-т прикладной физ. НАН Респ. Беларусь, Белорусская ассоциация нераз- руш. контр. и техн. диагн., Рос. общество по неразруш. контр. и техн. диагн., УП «Белгазпромдиагностика», Белорус.-Рос. ун-т ; редкол. : И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев : Белорус.-Рос. ун-т, 2012. – С. 219-220.	ru
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/35113
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru
dc.title	Контроль параметров наноразмерных металлических покрытий на кремнии	ru
dc.type	Thesis	ru