Контроль ориентации оптической оси подложки при помощи эллипсометра с бинарной модуляцией состояния поляризации

Show simple item record

dc.contributor.author Ивашкевич, И. В.
dc.contributor.author Крекотень, Н. А.
dc.contributor.author Петлицкий, А. Н.
dc.contributor.author Примак, И. У.
dc.contributor.author Сотская, Л. И.
dc.contributor.author Сотский, А. Б.
dc.contributor.author Стаськов, Н. И.
dc.date.accessioned 2023-07-28T10:56:40Z
dc.date.available 2023-07-28T10:56:40Z
dc.date.issued 2009
dc.identifier.citation Контроль ориентации оптической оси подложки при помощи эллипсометра с бинарной модуляцией состояния поляризации / И. В. Ивашкевич [и др.] // Веснік Магілёўскага дзяржаўнага ўніверсітэта імя А. А. Куляшова. – 2009. – № 2–3 (33). – С. 196–200. ru_RU
dc.identifier.uri http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/35391
dc.description.abstract Предложена методика определения ориентации оптической оси подложки при помощи эллипсометра с бинарной модуляцией состояния поляризации света. Выполнены экспериментальные исследования сапфировой подложки на спектральном эллипсометре ES-2. Обсуждаются погрешности решения обратной задачи. ru_RU
dc.language.iso ru ru_RU
dc.subject Публикации кафедры "Высшая математика" ru_RU
dc.title Контроль ориентации оптической оси подложки при помощи эллипсометра с бинарной модуляцией состояния поляризации ru_RU
dc.type Article ru_RU
dc.identifier.udc 535.51.541.1


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Browse

My Account