Изменение свойств материалов и необходимость автоматизации технологической среды плазменной обработки в тлеющем разряде

Abstract

Представлены результаты исследований дислокационной структуры материалов, микротвёрдости после обработки в тлеющем разряде. Показано, что повышение дислокационной плотности на глубине, превышающей проективный пробег ионов от поверхности мишени, происходит вследствие нелинейных колебаний атомных осцилляторов и приводит к образованию новых метастабильных долгоживущих структур. Обоснована необходимость в комплексной автоматизации технологической среды по плазменной обработке в тлеющем разряде вследствие быстротечности основных процессов.