Оптические характеристики легированных сурьмой кремниевых пластин после быстрого термического отжига

Парашков С. О.; Стаськов Н. И.; Сотский А. Б.; Сергейчик А. А.

dc.contributor.author	Парашков С. О.	ru
dc.contributor.author	Стаськов Н. И.	ru
dc.contributor.author	Сотский А. Б.	ru
dc.contributor.author	Сергейчик А. А.	ru
dc.coverage.spatial	Могилев	ru
dc.date.accessioned	2024-10-04T12:42:57Z
dc.date.available	2024-10-04T12:42:57Z
dc.date.issued	2024
dc.identifier.citation	Парашков, С. О. Оптические характеристики легированных сурьмой кремниевых пластин после быстрого термического отжига / Парашков С. О., Стаськов Н. И., Сотский А. Б., Сергейчик А. А. // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов: сб. ст. 9-й Междунар. науч.-техн. конф. / М-во образования Респ. Беларусь, М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Белорус.-Рос. ун-т, Ин-т прикладной физики НАН Беларуси, Научный совет Межд. ассоциации академий наук по неразрушающему контролю и техн. диагностике, Рос. общество по неразрушающему контролю и техн. диагностике; редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. – Могилев: Белорус.-Рос. ун-т, 2024. – С. 142-146.	ru
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/43716
dc.description.abstract	Методом спектральной эллипсометрии исследованы оптические свойства легированных сурьмой кремниевых пластин с одной матированной поверхностью, подвергнутых быстрому термическому отжигу. Для определения оптических характеристик пластин исключено влияние поверхностного оксидного слоя. Это позволило в области полосы собственного поглощения сравнить основные оптические характеристики для чистого и легированного сурьмой кремния. Установлено, что в области точек сингулярности Ван Хова мнимая часть диэлектрической проницаемости легированного кремния меньше чем у чистого. Ширина запрещенной зоны легированного кремния больше чем у чистого. Энергия Урбаха характеризует дефектность кристаллической решетки кремния при внедрении сурьмы.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru
dc.subject	оптические характеристики кремниевых пластин	ru
dc.subject	легирование кремния сурьмой	ru
dc.subject	ширина запрещенной зоны	ru
dc.subject	энергия Урбаха	ru
dc.title	Оптические характеристики легированных сурьмой кремниевых пластин после быстрого термического отжига	ru
dc.type	Article	ru