Оптические характеристики легированных сурьмой кремниевых пластин после быстрого термического отжига

Abstract

Методом спектральной эллипсометрии исследованы оптические свойства легированных сурьмой кремниевых пластин с одной матированной поверхностью, подвергнутых быстрому термическому отжигу. Для определения оптических характеристик пластин исключено влияние поверхностного оксидного слоя. Это позволило в области полосы собственного поглощения сравнить основные оптические характеристики для чистого и легированного сурьмой кремния. Установлено, что в области точек сингулярности Ван Хова мнимая часть диэлектрической проницаемости легированного кремния меньше чем у чистого. Ширина запрещенной зоны легированного кремния больше чем у чистого. Энергия Урбаха характеризует дефектность кристаллической решетки кремния при внедрении сурьмы.