Обратная задача эллипсометрии объемных материалов с поверхностными слоями

Понкратов Д. В.; Сотский А. Б.; Стаськов Н. И.; Сергейчик А. А.; Сотская Л. И.

dc.contributor.author	Понкратов Д. В.	ru
dc.contributor.author	Сотский А. Б.	ru
dc.contributor.author	Стаськов Н. И.	ru
dc.contributor.author	Сергейчик А. А.	ru
dc.contributor.author	Сотская Л. И.	ru
dc.coverage.spatial	Могилев	ru
dc.date.accessioned	2024-10-04T12:42:57Z
dc.date.available	2024-10-04T12:42:57Z
dc.date.issued	2024
dc.identifier.citation	Понкратов, Д. В. Обратная задача эллипсометрии объемных материалов с поверхностными слоями / Понкратов Д. В., Сотский А. Б., Стаськов Н. И., Сергейчик А. А., Сотская Л. И. // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов: сб. ст. 9-й Междунар. науч.-техн. конф. / М-во образования Респ. Беларусь, М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Белорус.-Рос. ун-т, Ин-т прикладной физики НАН Беларуси, Научный совет Межд. ассоциации академий наук по неразрушающему контролю и техн. диагностике, Рос. общество по неразрушающему контролю и техн. диагностике; редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. – Могилев: Белорус.-Рос. ун-т, 2024. – С. 158-164.	ru
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/43719
dc.description.abstract	Предложен метод решения обратной задачи эллипсометрии о восстановлении диэлектрической проницаемости подложки при наличии на ее поверхности наноразмерного слоя с неизвестными заранее характеристиками. Решение использует поляризационные углы, измеренные при двух углах падения света на структуру, и определяет диэлектрическую проницаемость подложки одновременно с интегральным параметром, характеризующим поверхностный слой. Подход применен к спектральной эллипсометрии кремния с поверхностными слоями. Определены дисперсионные характеристики и ширина запрещенной зоны кремния, легированного бором, марки КДБ-12, поверхность которого пассивирована методом быстрой термической обработки.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru
dc.subject	обратная задача эллипсометрии	ru
dc.subject	наноразмерный поверхностный слой	ru
dc.subject	кремниевая подложка	ru
dc.subject	интегральные соотношения	ru
dc.subject	запрещенная зона	ru
dc.title	Обратная задача эллипсометрии объемных материалов с поверхностными слоями	ru
dc.type	Article	ru