Спектральная эллипсометрия золотых пленок

Чудаков Е. А.; Сотский А. Б.; Сотская Л. И.

Главная
→
Материалы конференций и семинаров
→
Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов
→
2024 (26-27 сентября)
→
Просмотр элемента

dc.contributor.author	Чудаков Е. А.	ru
dc.contributor.author	Сотский А. Б.	ru
dc.contributor.author	Сотская Л. И.	ru
dc.coverage.spatial	Могилев	ru
dc.date.accessioned	2024-10-04T12:43:03Z
dc.date.available	2024-10-04T12:43:03Z
dc.date.issued	2024
dc.identifier.citation	Чудаков, Е. А. Спектральная эллипсометрия золотых пленок / Чудаков Е. А., Сотский А. Б., Сотская Л. И. // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов: сб. ст. 9-й Междунар. науч.-техн. конф. / М-во образования Респ. Беларусь, М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Белорус.-Рос. ун-т, Ин-т прикладной физики НАН Беларуси, Научный совет Межд. ассоциации академий наук по неразрушающему контролю и техн. диагностике, Рос. общество по неразрушающему контролю и техн. диагностике; редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. – Могилев: Белорус.-Рос. ун-т, 2024. – С. 237-240.	ru
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/43734
dc.description.abstract	На основании модели аномального скин-эффекта выполнена обработка экспериментальных данных для спектров поляризационных углов наноразмерных золотых пленок на кремниевой подложке. Отмечена зависимость констант электронного газа от толщины пленки. Установлено, что универсальной характеристикой материала пленки, не зависящей от ее толщины, является диэлектрическая проницаемость ионного остова металла.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru
dc.subject	спектральная эллипсометрия	ru
dc.subject	золотые пленки	ru
dc.subject	нормальный скин-эффект	ru
dc.subject	аномальный скин-эффект	ru
dc.title	Спектральная эллипсометрия золотых пленок	ru
dc.type	Article	ru