Спектральная эллипсометрия при использовании частично когерентного света

dc.contributor.author	Сотская, Л. И.
dc.contributor.author	Михеев, С. С.
dc.contributor.author	Сотский, А. Б.
dc.contributor.author	Ивашкевич, И. В.
dc.date.accessioned	2017-05-29T08:31:34Z
dc.date.accessioned	2018-05-24T13:47:51Z
dc.date.available	2017-05-29T08:31:34Z
dc.date.available	2018-05-24T13:47:51Z
dc.date.issued	2017
dc.identifier.citation	Спектральная эллипсометрия при использовании частично когерентного света / Л. И. Сотская [и др.] // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы междунар. науч.-техн. конф., Могилев, 27-28 апреля 2017 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорус.-Рос. ун-т, 2017. - С.362-363	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/4712
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	спектральная эллипсометрия	ru_RU
dc.subject	когерентный свет	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Высшая математика"
dc.title	Спектральная эллипсометрия при использовании частично когерентного света	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU