Измерение микроперемещений при помощи емкостных датчиков

Буранок, А. И.; Павленко, А. И.; Рогожник, А. Н.; Buranok, A. I.; Pavlenko, A. I.; Rorozhnik, A. N.

dc.contributor.author	Буранок, А. И.
dc.contributor.author	Павленко, А. И.
dc.contributor.author	Рогожник, А. Н.
dc.contributor.author	Buranok, A. I.
dc.contributor.author	Pavlenko, A. I.
dc.contributor.author	Rorozhnik, A. N.
dc.date.accessioned	2017-10-11T11:57:54Z
dc.date.accessioned	2018-05-24T06:58:06Z
dc.date.available	2017-10-11T11:57:54Z
dc.date.available	2018-05-24T06:58:06Z
dc.date.issued	2017
dc.identifier.citation	Буранок, А. И. Измерение микроперемещений при помощи емкостных датчиков / А. И. Буранок, А. И. Павленко, А. Н. Рогожник // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов : сборник статей 6-й Международной научно-технической конференции, Могилев, 19-20 сентября 2017 г. / редкол.: И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2017. - С. 361-364	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/5052
dc.description.abstract	Освещена проблематика создания емкостных датчиков для микро- и нанопозиционирования, существующие на данный момент конструктивные решения в этой области и достигнутые в процессе опытно-конструкторской работы характеристики. This paper reveals the problem of creating capacitive sensors for micro- and nano-positioning, current constructive solutions in this field and the characteristics obtained in the process of research and development work.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	емкостные датчики	ru_RU
dc.subject	координатные системы	ru_RU
dc.subject	нанопозиционирование	ru_RU
dc.subject	датчики	ru_RU
dc.subject	capacitive sensors	ru_RU
dc.subject	coordinate systems	ru_RU
dc.subject	nanopositioning	ru_RU
dc.subject	sensors	ru_RU
dc.subject	перемещения	ru_RU
dc.subject	displacements	ru_RU
dc.subject	измерение перемещений	ru_RU
dc.subject	measurement of micro-displacements	ru_RU
dc.title	Измерение микроперемещений при помощи емкостных датчиков	ru_RU
dc.title.alternative	Measurement of micro-displacements with capacitive sensors	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU