Создание и применение координатных систем с пьезоэлектрическими актюаторами

Буранок, А. И.; Крот, Я. С.; Павленко, А. И.; Buranok, A. I.; Krot, Y. S.; Pavlenko, A. I.

dc.contributor.author	Буранок, А. И.
dc.contributor.author	Крот, Я. С.
dc.contributor.author	Павленко, А. И.
dc.contributor.author	Buranok, A. I.
dc.contributor.author	Krot, Y. S.
dc.contributor.author	Pavlenko, A. I.
dc.date.accessioned	2017-10-11T12:26:44Z
dc.date.accessioned	2018-05-24T06:58:24Z
dc.date.available	2017-10-11T12:26:44Z
dc.date.available	2018-05-24T06:58:24Z
dc.date.issued	2017
dc.identifier.citation	Буранок, А. И. Создание и применение координатных систем с пьезоэлектрическими актюаторами / А. И. Буранок, Я. С. Крот, А. И. Павленко // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов : сборник статей 6-й Международной научно-технической конференции, Могилев, 19-20 сентября 2017 г. / редкол.: И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2017. - С. 365-370	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/5053
dc.description.abstract	Освещена проблематика создания координатных устройств для микро - и нанопозиционирования в сканирующих системах на базе пьезоэлектрических актюаторов, существующие на данный момент конструктивные решения в этой области и достигнутые в процессе опытно-конструкторской работы характеристики. This paper reveals the problem of creating coordinate devices for micro- and nano-positioning in scanning systems based on piezoelectric actuators, current constructive solutions in this field and the characteristics obtained in the process of research and development work.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	атомно-силовая микроскопия	ru_RU
dc.subject	координатные системы	ru_RU
dc.subject	нанопозиционирование	ru_RU
dc.subject	пьезокерамика	ru_RU
dc.subject	пьезоактюаторы	ru_RU
dc.subject	емкостные датчики	ru_RU
dc.subject	флексоры	ru_RU
dc.subject	пьезоэлектрические актюаторы	ru_RU
dc.subject	atomic force microscopy	ru_RU
dc.subject	coordinate systems	ru_RU
dc.subject	nanopositioning	ru_RU
dc.subject	piezoceramics	ru_RU
dc.subject	piezoactuators	ru_RU
dc.subject	flexors	ru_RU
dc.subject	capacitive sensors	ru_RU
dc.subject	piezoelectric actuators	ru_RU
dc.title	Создание и применение координатных систем с пьезоэлектрическими актюаторами	ru_RU
dc.title.alternative	Development and application of coordinate systems with piezoelectric actuators	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU