Методы обработки данных для сканирующей интерферометрии белого света

Филиппов, И. Н.; Кураченко, С. С.; Filipau, I. N.; Kurachenko, S. S.

dc.contributor.author	Филиппов, И. Н.
dc.contributor.author	Кураченко, С. С.
dc.contributor.author	Filipau, I. N.
dc.contributor.author	Kurachenko, S. S.
dc.date.accessioned	2017-10-12T13:37:15Z
dc.date.accessioned	2018-05-24T06:58:43Z
dc.date.available	2017-10-12T13:37:15Z
dc.date.available	2018-05-24T06:58:43Z
dc.date.issued	2017
dc.identifier.citation	Филиппов, И. Н. Методы обработки данных для сканирующей интерферометрии белого света / И. Н. Филиппов, С. С. Кураченко // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов : сборник статей 6-й Международной научно-технической конференции, Могилев, 19-20 сентября 2017 г. / редкол.: И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2017. - С. 394-398	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/5058
dc.description.abstract	Описан общий принцип работы интерферометра белого света. Приводится обзор основных методов восстановления профиля поверхности по набору интерферограмм. Приводится их сравнительная характеристика. Производится моделирование набора интерференционных картин. Производится восстановление профиля поверхности по модельному набору интерференционных картин. Оцениваются погрешности рассмотренных методов, в зависимости от шумов различной природы. Described general principles of scanning white light interferometry. Common methods of profile estimation from white light interferogramms have been reviewed. Comparison of these methods has been performed. Sequence of interferogramms has been modeled. Surface profile has been restored from modeled interferogramms using every described method. Dependency of restoration error from different errors in raw data has been analized.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	интерферометрия	ru_RU
dc.subject	интерферометрия белого света	ru_RU
dc.subject	профиль поверхности	ru_RU
dc.subject	измерение профиля поверхности	ru_RU
dc.subject	интерферограммы	ru_RU
dc.subject	интерферометры	ru_RU
dc.subject	interferometry	ru_RU
dc.subject	white light interferometry	ru_RU
dc.subject	surface profile	ru_RU
dc.subject	surface profile measurement	ru_RU
dc.subject	interferogramms	ru_RU
dc.subject	interferometers	ru_RU
dc.subject	методы	ru_RU
dc.subject	methods	ru_RU
dc.title	Методы обработки данных для сканирующей интерферометрии белого света	ru_RU
dc.title.alternative	Data processing methods in white light scanning interferometry	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU