Интегрально-оптический датчик газовых примесей на основе нанослоев оксидных полупроводников

Show simple item record

dc.contributor.author Примак, И. У.
dc.contributor.author Хомченко, А. В.
dc.contributor.author Primak, I. U.
dc.contributor.author Khomchenko, A. V.
dc.date.accessioned 2017-10-16T12:02:05Z
dc.date.accessioned 2018-05-24T06:58:06Z
dc.date.available 2017-10-16T12:02:05Z
dc.date.available 2018-05-24T06:58:06Z
dc.date.issued 2017
dc.identifier.citation Примак, И. У. Интегрально-оптический датчик газовых примесей на основе нанослоев оксидных полупроводников / И. У. Примак, А. В. Хомченко // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов : сборник статей 6-й Международной научно-технической конференции, Могилев, 19-20 сентября 2017 г. / редкол.: И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2017. - С. 453-457 ru_RU
dc.identifier.uri http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/5077
dc.description.abstract Представлены результаты исследования изменения волноводных свойств полупроводниковых пленок при адсорбции молекул газа на их поверхности. Для пленок из двуокиси олова промоделировано изменение оптических потерь в условиях адсорбции газа. Выполнен анализ чувствительности интегрально-оптических датчиков на основе пленок ряда оксидных полупроводников. Results of studying changes in waveguide properties of semiconductor films in the case of adsorption of gas molecules on their surface are presented. For films of tin dioxide the optical losses variation in conditions of gas adsorption are simulated. The analysis of the sensitivity of integrated optical sensors is presented. ru_RU
dc.language.iso ru ru_RU
dc.publisher Белорусско-Российский университет ru_RU
dc.subject волноводная спектроскопия ru_RU
dc.subject датчик газовых примесей ru_RU
dc.subject датчики ru_RU
dc.subject адсорбция ru_RU
dc.subject газовые примеси ru_RU
dc.subject интегрально-оптические датчики ru_RU
dc.subject полупроводниковые пленки ru_RU
dc.subject оксидные полупроводники ru_RU
dc.subject waveguide spectroscopy ru_RU
dc.subject gas impurities ru_RU
dc.subject sensors ru_RU
dc.subject adsorption ru_RU
dc.subject sensor of gas impurities ru_RU
dc.subject integrated optical sensors ru_RU
dc.subject semiconductor films ru_RU
dc.subject oxide semiconductors ru_RU
dc.title Интегрально-оптический датчик газовых примесей на основе нанослоев оксидных полупроводников ru_RU
dc.title.alternative The waveguide thin-film gas sensor ru_RU
dc.type Thesis ru_RU


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Browse

My Account