Интегрально-оптический датчик газовых примесей на основе нанослоев оксидных полупроводников

Примак, И. У.; Хомченко, А. В.; Primak, I. U.; Khomchenko, A. V.

dc.contributor.author	Примак, И. У.
dc.contributor.author	Хомченко, А. В.
dc.contributor.author	Primak, I. U.
dc.contributor.author	Khomchenko, A. V.
dc.date.accessioned	2017-10-16T12:02:05Z
dc.date.accessioned	2018-05-24T06:58:06Z
dc.date.available	2017-10-16T12:02:05Z
dc.date.available	2018-05-24T06:58:06Z
dc.date.issued	2017
dc.identifier.citation	Примак, И. У. Интегрально-оптический датчик газовых примесей на основе нанослоев оксидных полупроводников / И. У. Примак, А. В. Хомченко // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов : сборник статей 6-й Международной научно-технической конференции, Могилев, 19-20 сентября 2017 г. / редкол.: И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2017. - С. 453-457	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/5077
dc.description.abstract	Представлены результаты исследования изменения волноводных свойств полупроводниковых пленок при адсорбции молекул газа на их поверхности. Для пленок из двуокиси олова промоделировано изменение оптических потерь в условиях адсорбции газа. Выполнен анализ чувствительности интегрально-оптических датчиков на основе пленок ряда оксидных полупроводников. Results of studying changes in waveguide properties of semiconductor films in the case of adsorption of gas molecules on their surface are presented. For films of tin dioxide the optical losses variation in conditions of gas adsorption are simulated. The analysis of the sensitivity of integrated optical sensors is presented.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	волноводная спектроскопия	ru_RU
dc.subject	датчик газовых примесей	ru_RU
dc.subject	датчики	ru_RU
dc.subject	адсорбция	ru_RU
dc.subject	газовые примеси	ru_RU
dc.subject	интегрально-оптические датчики	ru_RU
dc.subject	полупроводниковые пленки	ru_RU
dc.subject	оксидные полупроводники	ru_RU
dc.subject	waveguide spectroscopy	ru_RU
dc.subject	gas impurities	ru_RU
dc.subject	sensors	ru_RU
dc.subject	adsorption	ru_RU
dc.subject	sensor of gas impurities	ru_RU
dc.subject	integrated optical sensors	ru_RU
dc.subject	semiconductor films	ru_RU
dc.subject	oxide semiconductors	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.title	Интегрально-оптический датчик газовых примесей на основе нанослоев оксидных полупроводников	ru_RU
dc.title.alternative	The waveguide thin-film gas sensor	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU