Буранок, А. И.; Павленко, А. И.; Рогожник, А. Н.; Buranok, A. I.; Pavlenko, A. I.; Rorozhnik, A. N.
(Белорусско-Российский университет, 2017)
Освещена проблематика создания емкостных датчиков для микро- и нанопозиционирования, существующие на данный момент конструктивные решения в этой области и достигнутые в процессе опытно-конструкторской работы характеристики. ...