Рефлектометрия наноразмерных слоев в тонкопленочных структурах

dc.contributor.author	Василенко, А. Н.
dc.contributor.author	Примак, И. У.
dc.contributor.author	Хомченко, А. В.
dc.date.accessioned	2016-05-16T10:47:32Z
dc.date.accessioned	2018-05-25T11:42:12Z
dc.date.available	2016-05-16T10:47:32Z
dc.date.available	2018-05-25T11:42:12Z
dc.date.issued	2016
dc.identifier.citation	Василенко, А. Н. Рефлектометрия наноразмерных слоев в тонкопленочных структурах / А. Н. Василенко, И. У. Примак, А. В. Хомченко // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 14-15 апреля 2016 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2016. - С. 250-251	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/661
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	наноразмерные слои	ru_RU
dc.subject	тонкопленочные структуры	ru_RU
dc.subject	нанотехнологи	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.title	Рефлектометрия наноразмерных слоев в тонкопленочных структурах	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU